2.3—般情况下，大部分洁净空调系统均设计为经典的一次回风系统，室外新风与室内回风直接混合后再进行过滤及热湿处理，这种空调方式是常见方式。在电子洁净厂房中，大部分房间的室内产湿量很小，而设备发热量很大，室内空气热湿比无穷大，在焓湿图中为一条竖直的线；因而从投资、管理、节能等方面考虑，建议采用新风集中预处理与循环空调机组相组合的方式(MAU+RCAU)。

 循环空气处理机组空气流程为：新回风混合（新风接自MAU)→表冷器→加热器→送风机→中效过滤器→送风管→高效过滤器送风口→洁净区→百叶回风口→回风管→新回风混合；各功能段的具体布置详见图二，其空气热湿处理过程见图（一)。

图一：MAU+RCAU空气处理过程

4.1新风机组（MAU)采用变频风机，由总送风管上的静压传感器来控制变频器。在接入循环机组(RCAU)的新风支管上均设置电动调节阀，由各洁净室的正压值来调节电动调节阀的开度，使洁净室的正压值不随生产设备的排风量的变化而变化，电动调节阀的开度变化引起总送风管上的静压变化，根据其设定值调节(MAU)的风机频率，来控制新风机组的总送风量；其原理见图二。

4.3净化生产车间的温度是由循环机组（RCAU)来保证的，经新风处理机处理后的空气状态为洁净房间的送风露点，新回风混合点一定在该洁净房间的热湿比线上，根据室内温度来调节表冷器和加热器回水管上的电动二通阀的开度。其原理见图二。